소재 & 규격 (Material & Std)
클린룸 표준 (ISO 14644)
반도체와 제약 공정의 무대, 클린룸(Cleanroom). ISO Class 등급 체계와 입자 관리 기준, 그리고 표면처리품의 청정 포장 가이드라인을 제시합니다.
1. 깨끗함의 국제 표준, ISO 14644-1
"여기는 먼지 하나 없이 깨끗해"라는 말은 공학적이지 않습니다. "여기는 ISO Class 4 레벨이야"라고 해야 합니다. ISO 14644-1은 공기 1입방미터(m³) 당 존재하는 입자(Particle)의 개수를 기준으로 등급을 나눕니다.
2. 등급 분류 (Classification)
숫자가 낮을수록 더 깨끗합니다. (주의: 과거 미연방규격 Fed-Std-209E의 Class 100, 1000 개념과 환산할 줄 알아야 합니다.)
상세 기준표 (Particles per cubic meter)
| ISO Class | 0.1 μm | 0.5 μm | 비고 |
|---|---|---|---|
| Class 1 | 10 | 2 | 이론적 한계, 최첨단 연구소 |
| Class 3 | 1,000 | 35 | Fed Class 1 (구) |
| Class 4 | 10,000 | 352 | Fed Class 10 (구) |
| Class 5 | 100,000 | 3,520 | Fed Class 100 (구), 병원 수술실 |
| Class 6 | 1,000,000 | 35,200 | Fed Class 1,000 (구) |
| Class 7 | - | 352,000 | Fed Class 10,000 (구) |
3. 표면처리와 클린룸의 관계
전해연마(EP) 공장이 왜 클린룸을 갖춰야 할까요? EP가 끝난 제품은 "가장 깨끗한 상태"입니다. 이 상태를 고객사(Fab)에 도착할 때까지 유지해야 합니다. 만약 EP 후 일반 공터에서 포장한다면, 다시 오염시키는 것입니다. "Clean to Clean" 원칙이 깨집니다.
CS Innovation의 클린 패키징 시스템
- 최종 세정: ISO Class 6 구역 내에서 DI Water 세정.
- 건조: HEPA Filter가 장착된 오븐 또는 부스 사용.
- 포장: ISO Class 5 (Class 100) 청정 부스 내에서 질소 충전 포장.
4. 입자 발생원 제어 (Protocol)
클린룸 오염의 80%는 사람에게서 나옵니다.
Gowning Protocol (방진복 착용 수칙)
5. 모니터링 (Monitoring)
깨끗함은 믿음이 아니라 측정입니다.
- Airborne Particle Counter: 공기 중 파티클을 레이저로 실시간 측정.
- Falling Dust Test: 바닥에 떨어진 낙하 분진 측정.
- Wipe Test: 표면을 닦아보아 오염 확인.
유효성 확인
클린룸은 1년에 1회 이상 필터 누설(Leak), 풍량, 풍속, 차압 등을 측정하여 재인증(Re-certification)을 받아야 합니다.